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文档序号:8739306

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一种承载单元包含一基板本体及一设置在该基板本体的顶壁的承载本体。该基板本体包括一气流道,以及一把该气流道与外界连通的入口。该承载本体包括多个阵列排列且分别与该气流道连通的贯孔以及多个出口,且每一贯孔具有一大孔径部、一孔径小于该大孔径部的小孔...
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