下载高温压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:8734476

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本发明属于压力传感器的技术领域,具体是一种高温压力传感器及其制备方法,解决了现有的压力传感器由于设计不够合理导致其在高温潮湿等环境下失效无法正常工作的问题。其包括自上而下的四层,第一层刷有平面方形螺旋电感和电容上极板;第二层设有密封的压力空...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。

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