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位移测量系统技术方案
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文档序号:8734373
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本发明提供一种位移测量系统,主要包括:一激光器,用以输出双频激光;一数据采集及处理单元,用以接收激光器输出的干涉激光并进行数据处理;其中,进一步包括一回馈单元,所述回馈单元包括一第一反射镜及第二反射镜相对且间隔设置,所述第一反射镜具有一第一...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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