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本发明提供一种DCS歧化制硅烷的西门子联产工艺。在改良西门子法制备多晶硅工艺还原精馏单元(5)后面连接歧化反应单元(6)、硅烷产品精馏单元(7)和二氯二氢硅精馏单元(8)；还原精馏单元（5）得到的高纯二氯二氢硅进入歧化反应单元(6)进行歧化...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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