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一种利用扫描电镜在单根微纳线上制作金属电极的方法技术
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下载一种利用扫描电镜在单根微纳线上制作金属电极的方法的技术资料
文档序号:8732321
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本发明一种利用扫描电镜在单根微纳线上制作金属电极的方法,属于微纳器件设计及制造领域。本发明仅利用简单的扫描电镜及镀膜仪,通过在单根微纳线两端制作金属电极。电极覆盖在微纳线上面,与微纳线形成稳固的电极接触,保证了电性能测量过程中信号的稳定性。...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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