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本实用新型涉及一种小面积衬底用硒源离化器，包括内部有两个电极形成离化腔室的方形离化器壳体，离化腔室中有加热源、离化腔室顶部有气体输出口，离化腔室底部有气体输入口，其特征在于：方形离化器壳体内壁固装有绝缘层，两个电极均为平板状电极板；电极板上...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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