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一种多功能硅片倒角机，在机架上设置有硅片承载机构、磨削机构和加载机构。硅片承载机构包括一个低速主轴，低速主轴上同轴设置有一个靠模和一个硅片吸盘。磨削机构包括摆臂，摆臂一端设置有一个砂轮驱动轴，砂轮驱动轴的轴向延长线上设置有一个滚轮，滚轮径向...
该专利属于上海光炜电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海光炜电子材料有限公司授权不得商用。

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