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一种等离子处理装置，包括真空腔体和等离子体发生组件，所述等离子体发生组件包括：等离子体发生腔，开设于所述真空腔体腔壁；电极模组，设置于所述等离子体发生腔内，所述电极模组的放电端正对所述真空腔体内部，所述电极模组由多个平行矩阵排列的管状电极组...
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