下载半导体测试结构及其形成方法、测试方法的技术资料

文档序号:8705221

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一种半导体测试结构,包括:半导体衬底;位于半导体衬底上至少两个栅极结构;位于半导体衬底和栅极结构表面的介质层;位于所述栅极结构两端的共享接触插塞,所述共享接触插塞贯穿介质层一部分位于栅极结构一端的表面,一部分位于栅极结构相应一侧的半导体衬底...
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