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本发明实施例提供薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置,涉及显示技术领域,能够减少制作LTPS-TFT所需的光刻掩膜工艺的次数,缩短研发和大规模量产的时间,降低工艺复杂度和监控难度,并降低制作成本。本发明的薄膜晶体管包括:基板;设置于所...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置,涉及显示技术领域,能够减少制作LTPS-TFT所需的光刻掩膜工艺的次数,缩短研发和大规模量产的时间,降低工艺复杂度和监控难度,并降低制作成本。本发明的薄膜晶体管包括:基板;设置于所...