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基于序优化与在线核极限学习机的分层迭代优化调度方法，属于自动控制、信息技术和先进制造领域，具体涉及菜单层批调度策略优化、操作层操作排序优化和基于核极限学习机在线学习的目标函数评价等方法。其特征在于，针对微电子生产过程中的扩散区组批调度过程中...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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