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表面等离子体纵向场扫描近场光学显微镜装置及检测方法制造方法及图纸
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文档序号:8702135
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本发明提供一种表面等离子体纵向场扫描近场光学显微镜装置及检测方法;其具有表面等离子体激发单元(1)入射光经高数值孔径物镜(6)聚焦后会在金属膜和空气界面激发SPPs,其相互干涉在焦点附近形成SPPs的驻波场;扫描控制单元(2)利用AFM控制...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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