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本实用新型公开了一种检测阵列基板制程中残留有机物的检测装置，包括架体；安装于架体中的载台、卤素光源、红外光源、具有检测光接收端的成像与红外检测单元、以及调光组件；调光组件在将卤素光源的检测光导入检测光接收端时，成像与红外检测单元根据检测光生...
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