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本实用新型公开了一种二氯二氢硅除杂设备，包括提纯塔，所述提纯塔包括：填料提纯区和吸附区，所述吸附区设在所述填料提纯区上方且所述吸附区内配置有吸附剂，以对所述气相二氯二氢硅进行精提纯来除去其中的杂质。根据本实用新型示例的二氯二氢硅除杂设备，首...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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