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本发明提供一种模仁及其加工方法，该加工方法包括以下步骤：提供一基板；利用多次光刻及化学蚀刻制程在该基板上形成多个阶梯式多阶圆槽。利用由增加使用光罩次数，本方法可在基板上形成近似圆弧形凹面的阶梯式多阶圆槽。...
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