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半导体基板及绝缘栅极型场效电子晶体管制造技术
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文档序号:8688068
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本发明提供一种半导体基板,其具有基底基板、第一结晶层、及绝缘层,基底基板、第一结晶层、及绝缘层的位置顺序为基底基板、第一结晶层、绝缘层;第一结晶层是由可准晶格匹配于GaAs或AlGaAs的InxGa1-xAs(0.35≤x≤0.43)构成。...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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