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本发明的目的在于提供一种组合物、以及使用了该组合物的半导体基板表面的防水处理方法，所述组合物用于对具有由含有Si的绝缘层与金属层层积而形成的图案的半导体基板表面整体进行一次防水处理。本发明涉及(1)一种半导体基板表面防水处理用组合物，其含有...
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