下载裸芯预剥离设备和方法的技术资料

文档序号:8688050

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公开了一种将贴附在切片带(200)上的半导体裸芯(212)由所述切片带预剥离的设备(100)和方法。该设备(100)包括腔体(110),所述腔体具有底部基底(112)、顶部开口(114)和从基底(112)的周边向上延伸的环形侧壁(116)。...
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