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一种微光刻投射曝光装置(10)的照明系统，包含具有光学光栅元件(56；156)的阵列(54c；154b)的光学积分器(52；152)。聚光器(72)将与光学光栅元件关联的光束叠加于共同场平面(71)中。调制器(62；162；262)修改在照...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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一种微光刻投射曝光装置(10)的照明系统，包含具有光学光栅元件(56；156)的阵列(54c；154b)的光学积分器(52；152)。聚光器(72)将与光学光栅元件关联的光束叠加于共同场平面(71)中。调制器(62；162；262)修改在照...