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公开了制造形成纳米图案的滚筒光掩模的方法。具有大小范围为从约1纳米至约100微米的形貌的底版图案可在底版基底上形成。弹性体材料层可在透明滚筒的表面上形成。底版图案可从底版转印至所述透明滚筒表面上的弹性体材料层。可选地，形成纳米图案的滚筒光掩...
该专利属于罗利诗公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗利诗公司授权不得商用。

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