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本发明涉及一种用于多层烧成电子陶瓷元件的烧成用机架,其利用承烧板保持装置在垂直方向上以多层方式保持多张平板状承烧板。该承烧板保持装置由选自含有0.01—30%的Si的Si-SiC、重结晶SiC、Si3N4-SiCf的任意材质构成,该承烧板保...该专利属于日本碍子株式会社;NGK阿德列克株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社;NGK阿德列克株式会社授权不得商用。
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本发明涉及一种用于多层烧成电子陶瓷元件的烧成用机架,其利用承烧板保持装置在垂直方向上以多层方式保持多张平板状承烧板。该承烧板保持装置由选自含有0.01—30%的Si的Si-SiC、重结晶SiC、Si3N4-SiCf的任意材质构成,该承烧板保...