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本发明涉及一种用于对基板的表面喷洒的设备，其中，该设备具有至少一个用于输送流体到待处理的基板的表面上的第一喷嘴并且该第一喷嘴以与基板的第一间距来布置，其中，至少一个第二喷嘴以与基板的第二间距来布置，并且第二间距与第一间距的比在0.1至0.8...
该专利属于沃尔夫冈·单巴赫所有，仅供学习研究参考，未经过沃尔夫冈·单巴赫授权不得商用。

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