下载化学机械抛光用于电子、机械和光学器件的衬底的含水抛光组合物和方法的技术资料

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一种pH值为3-11的含水抛光组合物,其包含:(A)磨料颗粒,当其分散于不含组分(B)且pH值为3-9的含水介质中时带正电荷,如电泳迁移率所证实的那样;(B)阴离子磷酸盐分散剂;和(C)多羟基醇组分,其选自:(c1)水溶性和水分散性的脂族和...
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