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本文揭示钼(IV)酰胺络合物，其结构对应于式(I)：其中L为--NR1R2；R1和R2为C1-C6烷基或氢；R为C1-C6烷基；且n为0、1、2或3。此外，本文揭示采用式(I)络合物和Mo[N(Me)(Et)]4通过原子层沉积(ALD)来形...
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