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高金刚烷衍生物、其制备方法及光致抗蚀剂用感光性材料技术
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下载高金刚烷衍生物、其制备方法及光致抗蚀剂用感光性材料的技术资料
文档序号:8687251
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下式(I)表示的高金刚烷衍生物,式中R1、R2分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数。不过,n与m不能同时为0。...
该专利属于出光兴产株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过出光兴产株式会社授权不得商用。
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