下载高金刚烷衍生物、其制备方法及光致抗蚀剂用感光性材料的技术资料

文档序号:8687251

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

下式(I)表示的高金刚烷衍生物,式中R1、R2分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数。不过,n与m不能同时为0。...
该专利属于出光兴产株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过出光兴产株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。