下载一种氮化硅发热体的制作方法的技术资料

文档序号:8686408

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本发明涉及一种氮化硅发热体的制作方法包括:将氮化硅粉料与少量高温液相助烧剂置入无水乙醇中混合,混料10-72小时后,经喷雾造粒制成配方料;然后将金属发热丝埋入配方料并干压成型,然后通过180-220MPa的冷等静压进一步压制成型,并保压3-...
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