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本发明公开了一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统，该旋转装置包括控制器、电机、以及分别与控制器和电机连接的驱动器，其中：控制器用于接收不同的第一控制请求，并依据第一控制请求向驱动器发送相应的第一控制指令；驱动器依据第一控制指令驱动电...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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