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本发明采用的技术方案为:提供一种制备大功率LED芯片的方法,在芯片原片背面通过光刻技术留下可供激光隐形切割的切割道,包括如下步骤:提供衬底,所述衬底的正面具有多个LED芯片;在衬底背面形成具有镂空图形阵列的阻挡层,所述镂空图形的位置与正面的...该专利属于马鞍山圆融光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过马鞍山圆融光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明采用的技术方案为:提供一种制备大功率LED芯片的方法,在芯片原片背面通过光刻技术留下可供激光隐形切割的切割道,包括如下步骤:提供衬底,所述衬底的正面具有多个LED芯片;在衬底背面形成具有镂空图形阵列的阻挡层,所述镂空图形的位置与正面的...