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本发明提供了一种发光二极管的制造方法,包括;在蓝宝石衬底的(0001)方向上生长AlN缓冲层;在AlN缓冲层上蒸镀N型电极;在N型电极上蒸镀量子阱反射层;在量子阱反射层上生长一层厚度30~40μm的金属层;利用干法刻蚀技术将该金属层制备成周...该专利属于江苏威纳德照明科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏威纳德照明科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种发光二极管的制造方法,包括;在蓝宝石衬底的(0001)方向上生长AlN缓冲层;在AlN缓冲层上蒸镀N型电极;在N型电极上蒸镀量子阱反射层;在量子阱反射层上生长一层厚度30~40μm的金属层;利用干法刻蚀技术将该金属层制备成周...