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本发明提供一种半导体器件及其制造方法，以能够容易地形成位线，增加位线工序裕量，并减小相邻的位线之间的电容。半导体器件包括：第一柱和第二柱，其均从半导体基板竖直地延伸，并包括竖直沟道区；第一位线，其位于第一柱和第二柱内的竖直沟道区的下方部分中...
该专利属于海力士半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

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