下载三维集成高密度厚膜多芯片组件的集成方法的技术资料

文档序号:8684099

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本发明公开了三维集成高密度陶瓷厚膜多芯片组件的集成方法,方法是先制作所需多层陶瓷厚膜基片,在多层陶瓷厚膜基片上,制作厚膜导带-阻带网络,小多层陶瓷基片的对外引脚制作在的同一端的端面或者两面;然后在垂直集成的相应键合区形成金球;再采用厚膜混合...
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