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本发明公开了一种晶片专用三夹头夹具，通过夹臂减小三夹头之间的间距，三夹头仅与样品侧边缘接触而不直接接触晶面即可完成夹持操作。本发明包含有夹臂、三个夹头，夹臂末端设有夹头，其中一个夹臂上安装1或2个夹头，夹具设有3条或2条夹臂，各夹臂间相互连...
该专利属于东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学授权不得商用。

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