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本发明公开了一种用于检测探针卡的特殊晶圆版图排布法及其晶圆的制作，其排布方法，包括：1)定义需要在晶圆上实现的产品的个数；2)根据产品个数，把晶圆划分成与产品个数相对应的区域，在每个区域中制作一个产品的IO?PAD阵列，形成特殊的晶圆图形；...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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