下载高压结型场效应管的结构及制造方法的技术资料

文档序号:8684004

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本发明公开了一种高压结型场效应管的结构及制造方法,具第一导电类型的硅衬底上形成具有第二导电类型的阱区,阱区内具有漂移区和体区,漂移区耐高压,体区是结型场效应管的沟道区;漂移区内形成具第一导电类型的反型层,反型层一端上有隔离结构,沟道区外侧形...
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