温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于显示技术领域，公开了一种薄膜晶体管的制造方法，本发明所提供的薄膜晶体管的制造方法，通过慢速生成模式形成栅绝缘层和半导体层接触界面上的薄膜，结构致密，结晶颗粒小且均匀，接触电阻小，保证了该接触界面的导电能力，使薄膜晶体管具有开关功能...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。