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本发明公开了离子注入系统中的一种离子源均匀送气结构装置，如图1所示：通过在送气盖板底部设计送气管路(501)至送气管路(507)，以使送入的气体均匀的流入弧室腔体内，而弧室的两块端板上安装有灯丝；当通过一定的灯丝电流，灯丝受热发射电子，此时...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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