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实现一种改进的限束孔阑结构及制作的方法。在位于支撑衬底中的空腔上方的薄的导电膜中制作孔阑开口，其中孔阑的尺寸和形状由导电膜中的开口确定，而不是由衬底确定。...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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