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本发明一种阴极制备前处理装置及清洁方法，清洁装置包括支撑筒、连接法兰、清洁装置，支撑筒下端与连接法兰绝缘连接，支撑筒上端设置有支撑筒盖，支撑筒盖上方设置有放置阴极窗的开口，清洁装置包括上圆环形电极、下圆环形电极、穿过连接法兰的两个电极引线、...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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