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本发明公开了一种聚焦装置和激光加工设备。用于激光加工设备的聚焦装置，包括：物镜，该物镜发出加工激光束；位移传感器，该位移传感器发出测量光并利用测量光的反射光测量物体的位移或到物体的距离；漫反射器，该漫反射器设置在一位置中，从工件的表面被规则...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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