【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种聚焦装置(focusing device,调焦装置)和激光加工设备,特别是涉及一种配备有自动聚焦功能的聚焦装置和激光加工设备。
技术介绍
在对薄膜光电板执行激光加工的情况中，因为发出加工激光束的物镜与加工表面之间的距离由于玻璃衬底(薄膜在该玻璃衬底上被蒸发)的弯曲而变化，所以，激光束的焦点位置必须沿着加工表面。因此，激光加工设备通常配备有根据加工表面的竖直变化而自动地使物镜聚焦的自动聚焦功能。通常用位移传感器来控制该自动聚焦功能。位移传感器用探测光(该探测光是测量激光束)照射工件(例如薄膜光电板)，并利用从工件反射的光测量工件的位移或到工件的距离(例如，见日本未审查专利公开第2005-111534号)。由位移传感器所执行的测量方法分成规则地反射方法和漫反射方法，在规则地反射方法中，使用从所测物体规则地反射的光，在漫反射方法中，使用从所测物体漫反射的光。因此，基于工件的加工表面是规则反射表面或是漫反射表面，必须转换由位移传感器所执行的测量方法，或必须交换位移传感器。
技术实现思路
本专利技术已被设计为解决上述问题，并且本专利技术的一个目的是，不管工件...
【技术保护点】
一种用于激光加工设备的聚焦装置，包括：物镜，所述物镜发出加工激光束；位移传感器，所述位移传感器发出测量光并利用所述测量光的反射光测量物体的位移或到所述物体的距离；漫反射器，所述漫反射器设置在一位置中，从工件的表面被规则地反射的所述测量光被入射至所述位置；以及聚焦部，所述聚焦部基于所述位移传感器的测量结果使使所述物镜聚焦，其中，当所述测量光从所述工件的表面被规则地反射时，所述聚焦部基于第一测量结果使使所述物镜聚焦，所述第一测量结果是在从所述工件的表面被规则地反射的所述测量光从所述漫反射器被漫反射之后由所述位移传感器利用从所述工件的表面反射的第一反射光测得的。
【技术特征摘要】
2011.11.01 JP 2011-2401931.一种用于激光加工设备的聚焦装置，包括: 物镜，所述物镜发出加工激光束； 位移传感器，所述位移传感器发出测量光并利用所述测量光的反射光测量物体的位移或到所述物体的距离； 漫反射器，所述漫反射器设置在一位置中，从工件的表面被规则地反射的所述测量光被入射至所述位置；以及 聚焦部，所述聚焦部基于所述位移传感器的测量结果使使所述物镜聚焦，其中，当所述测量光从所述工件的表面被规则地反射时，所述聚焦部基于第一测量结果使使所述物镜聚焦，所述第一测量结果是在从所述工件的表面被规则地反射的所述测量光从所述漫反射器被漫反射之后由所述位移传感器利用从所述工件的表面反射的第一反射光测得的。2.根据权利要求1所述的聚焦装置，其中，当所述测量光从所述工件的表面被漫反射时，所述聚焦部基于第二测量结果使所述物镜聚焦，所述第二测量结果是由所述位移传感器利用从所述工件的表面被漫反射的第二反射光测得的。3.根据权利要求2所述的聚焦装置，其中，所述聚焦部基于所述工件的表面的反射状态来选择在规则反射表面或漫反射表面中的哪一个上使所述物镜聚焦。4.根据权利要求3所述的聚焦装置，其中，当所述位移传感器的测量结果超出预定范围时，所述聚焦部在所述物镜所聚焦的所述规则反射表面和所述漫反射表面之间转换。5.根据权利要求1至4中任一项所述的聚焦装置，其中，设置有至少两组位移传感器和漫反射器，并且所述漫反射器设置在同一组的所述位移传感器与物镜之间并位于所述物镜附近。6.根据权利要求5所述的 聚焦装置，其中，所述物镜设置在第一位移传感器与第二位移传感器之间，并且，所述第一位移传感器与所述第二位移传感器之间的相对方向相对于彼此正交的第一加工方向和第二加工方向倾斜地设置。7.根据权利要求5所述的聚焦装置，其中，第一位移传感器相对于所述物镜的第一相对方向被设置为预定的第一加工方向，并且第二位移传感器相对于所述物镜的第二相对方向被设置为与所述第一加工方向正交的第二加工方向。8.根据权利要求5所述的聚焦装置，其中，设置有至少四组位移传感器和漫反射器，所述物镜设置在第一位移传感器与第二位移传感器之间、以及第三位...
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