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一种测试标记，所述测试标记为正方形，中心为透光方孔，由中心向外依次为具有一定宽度的方框；从所述透光方孔至最外侧方框，透光区和非透光区交替；从最外侧透光方框至所述透光方孔，所述透光区面积逐渐增大。一种使用所述测试标记的光刻机透镜热效应测量方法...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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