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本发明提供一种调焦调平系统中光斑水平位置调整机构，包括依次设置的光源、投影单元及接收单元，所述投影单元或接收单元中设有电光偏转器，所述光源发出的光束经过投影单元投射成像到待测硅片上后，由所述接收单元接收经硅片反射后光束的成像信息，并通过控制...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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