下载一种纳米压印模板及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:8681859

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本发明公开了一种纳米压印模板的制备方法,用于制作具有表面高增透性能的微结构,以用于光学器件,该方法包括:制备衬底并在衬底表面镀膜的步骤;对镀膜的衬底进行阳极氧化并进行扩孔处理以形成多孔氧化铝表面的步骤;和对经氧化扩孔处理后的器件进行干法或湿...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。

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