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本发明实施例公开了一种深度调制金属结构衍射光学元件的设计方法，该方法包括：根据入射波长λ，选择制作所述深度调制金属结构衍射光学元件的基底材料和金属材料；在所述金属材料上选择取样点，并根据入射波长确定所述取样点处要嵌入的金属方孔的深度，所述金...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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