下载对检查结果的目视检验操作进行辅助的系统、装置及方法的技术资料

文档序号:8681208

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对于完成了自动外观检查的目标(基板),存储在检查中使用的图像,将通过检查中的测量处理获得的测量数据与测量目标区域的位置信息相关联地存储,并通过使用这些存储的信息,显示用于对目视检验特定检查目标区域(部件100)的实际状态的操作进行辅助的图像...
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