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本发明公开了单晶硅生长炉的石墨坩埚，其特征是：包括坩埚本体，所述坩埚本体由大小相同的至少三瓣坩埚片和一个坩埚托盘组成，所述相邻的坩埚片的顶部通过连接件连接，所述坩埚本体外表面具有间隔均匀且高度相同的凸台。本发明的优点是：能降低单晶硅生产中的...
该专利属于周兵所有，仅供学习研究参考，未经过周兵授权不得商用。

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