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本发明公开了一种多晶铸锭用高效坩埚,包括常规的石英坩埚,所述石英坩埚的底部均匀镶嵌有高纯颗粒。本发明还公开了一种多晶铸锭用高效坩埚的制备方法。与现有的石英坩埚相比,本发明具有以下技术效果:(1)本发明将高纯颗粒均匀分布在石英坩埚底部,使石英...该专利属于晶海洋半导体材料(东海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶海洋半导体材料(东海)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多晶铸锭用高效坩埚,包括常规的石英坩埚,所述石英坩埚的底部均匀镶嵌有高纯颗粒。本发明还公开了一种多晶铸锭用高效坩埚的制备方法。与现有的石英坩埚相比,本发明具有以下技术效果:(1)本发明将高纯颗粒均匀分布在石英坩埚底部,使石英...