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本发明公开了一种改善灯加热腔体内温度均匀性的方法，包括步骤：1)对腔体校温，获得贵晶圆表面温度分布图形；2)制定透光挡板；3)制定与所述温度分布图形形状相反的模板；4)将所述模板覆盖到透光挡板上，涂上涂层；5)将带涂层的透光挡板放到腔体内的...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种改善灯加热腔体内温度均匀性的方法，包括步骤：1)对腔体校温，获得贵晶圆表面温度分布图形；2)制定透光挡板；3)制定与所述温度分布图形形状相反的模板；4)将所述模板覆盖到透光挡板上，涂上涂层；5)将带涂层的透光挡板放到腔体内的...