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本发明涉及一种用于碳化硅晶体生长的籽晶固定方法，包括以下步骤：首先将籽晶生长面的反面进行镀膜处理，得到镀膜后的籽晶；然后将镀膜后的籽晶的生长面朝向碳化硅原料，利用籽晶托上设有的支架将籽晶托起。将籽晶生长面的反面进行镀膜处理，以保障籽晶不会发...
该专利属于保定科瑞晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过保定科瑞晶体有限公司授权不得商用。

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