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本发明涉及一种管式PECVD设备，包括上下料区、炉体和控制系统，还设有用于存储从炉体内出来的石墨舟的下料存储区，所述下料存储区设置有对石墨舟进行冷却的冷却装置。本发明克服了采用现有的PECVD设备时，操作人员的工作环境差、工作效率低的缺点，...该专利属于洛阳尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。